如果废气中仅含粒子污染物，且污染物粒径、浓度以及处理要求与所选工艺单元适宜，可在重力沉降、旋风分离、湿式洗涤、过滤、静电捕集等工艺单元中选择其一作为处理方法。如果废气中仅含有机化合物，且化合物性质、浓度以及处理要求与所选工艺单元适宜，可在吸收、吸附、冷凝、燃烧、催化燃烧等工艺单元中选择其一作为处理方法。但是，许多废气中含有一种以上污染物，且污染物性质复杂、浓度高、处理要求严，此时仅采用一种处理单元就难以经济有效地达到处理目的。因此，有时候化工厂废气处理需要两种或两种以上的工艺单元组合应用。

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